Skip to main content
KerFunSchicht

KerFunSchicht

Entwicklung keramischer Funktionsschichten für die Integration in LTCC-Mehrschichtsysteme des SiCer-Verbundsubstrats

Forschungsbereich:
Funktionskeramiken
Forschungsschwerpunkt:
Technologien und Werkstoffe
Projektleitung:
Prof. Jörg Töpfer
Projektzeitraum:
01.09.2019 - 31.08.2022
Förderer:
Budget:
338.000,00 €
Förderungskennzeichen:
03WKDG01C
Forschungspartner:
5microns GmbH, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS), IMMS - Institut für Mikroelektronik- und Mechantronik-Systeme gGmbH, LLT Applikation GmbH, Lust Hybrid-Technik GmbH, Micro-Hybrid-Electronic GmbH, Siegert Thinfilm Technology GmbH, Technische Universität (TU) Ilmenau, VIA Electronic GmbH

Das Ziel des Teilprojektes liegt in der Entwicklung und Qualifizierung von in/auf die LTCC-Mehrlagenkeramiken mit integrierbarer keramischen Funktionsschichten. Dazu sind die ausgewählten funktionskeramischen Werkstoffe (Weichferrite, Dielektrika, Thermistoren) zu entwickeln und in ihrem Siterverhalten an den SiCer-Verbund anzupassen. Die Funktionsschichten sollen dabei folgende elektromagnetische Funktionen ermöglichen:

  • Integrierte Ferritschichten als Abschirmungsschichten zur Reduzierung der Emission elektromagnetischer Störstrahlungen von SiCer Komponenten
  • Integrierte Ferritschichten als magnetische Komponenten für induktive Anwendungen (Spulen, Transformator)
  • Integrierte keramischen Kondensatorschichten als dielektrische Komponenten in LTCC-integrierten Kondensatoren
  • Integrierte NTC-Thermistorschichten zur Temperaturmessung