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NeoMAT

Nanostrukturierte Entspiegelung optischer Hochleistungsmaterialien für ein breites industrielles Anwendungsspektrum

Forschungsbereich:
Mikro- und Nanotechnologien, Optiktechnologien
Forschungsschwerpunkt:
Technologien und Werkstoffe
Projektleitung:
Prof. Dr. Robert Brunner
Projektzeitraum:
01.02.2017 - 31.01.2021
Förderer:
Budget:
360.000,00 €
Förderungskennzeichen:
13N14000
Forschungspartner:
Leica Camera AG, Max-Planck-Institut für intelligente Systeme, TRUMPF Laser GmbH

Nanostrukturierte Entspiegelungen sind kommerziell verfügbaren Entspiegelungen aus dielektrischen Schichtstapeln hinsichtlich ihrer optischen Leistungsfähigkeit überlegen. Bislang ist jedoch die Herstellung solcher neuartigen Entspiegelungen auf wenige Materialien begrenzt. Dieses Teilvorhaben zielt darauf ab, Verfahren zur Herstellung von nanostrukturierten Entspiegelungen auf optischen Hochleistungsmaterialien zu erarbeiten. Damit wird es gelingen, deutlich mehr Anwendungen zu adressieren und so eine Kommerzialisierung der Technologie voranzutreiben.

Teilvorhaben der EAH

In Zusammenarbeit mit den Verbundpartnern werden an der EAH die technologischen Grundlagen der Herstellungsprozesse erarbeitet. Zum einen werden die Nanostrukturen bezüglich ihrer optischen Performance simuliert, um eine anzustrebende Strukturform und -Periode inklusive Toleranzen festzulegen. Zum anderen wird dann die Übertragung der Nanostrukturen in die optischen Hochleistungsmaterialien mittels reaktivem lonenstrahlätzen (RIBE) erarbeitet. Die hergestellten Strukturen werden dann den Industriepartnern zur Erprobung und Bewertung zur Verfügung gestellt, wo sie in konkreten Anwendungen und insbesondere hinsichtlich ihres Einsatzes in adäquaten Reinigungs- und Handlingprozessen untersucht werden.

Geplante Ergebnisverwertung

Die wirtschaftliche Verwertung der Ergebnisse erfolgt prioritär über die nano.AR GmbH, deren Geschäftsfeld Herstellung und Vertrieb von nanostrukturierten Entspiegelungslösungen sein wird. Sie kann als Zulieferer für die Partner Leica Camera und TRUMPF auftreten. Zur wissenschaftlich-technischen Ergebnisverwertung werden die Erkenntnisse und Erfahrungen schutzrechtlich abgesichert und in hochwertigen internationalen Veröffentlichungen dokumentiert. Auf dem Gebiet der mikro- und nanostrukturierten Optik werden die Erkenntnisse Möglichkeiten für Folgeprojekte eröffnen, die sich beispielsweise mit der Herstellung spezieller diffraktiver Elemente in optischen Hochleistungsmaterialien beschäftigen.