Strukturierung

• optische maskenbasierte Lithographie (Kontakt- und Abstandslithographie)
• Image Reversal Resist
• KOH Siliziumätzen

Simulation

• Ionenimplantationssimulation
• Eindimensionale Siliziumtechnologiesimulation

Schichtabscheidung

• Magnetron-DC-RF Sputtern
• Thermisches Bedampfen, auch E-Beam

Drahtbonden

• Wedge-Wegde
• Ball-Wedge