Mikro- und Halbleitertechnologie
Angebote im Bereich der Mikro- und Halbleitertechnologie
Strukturierung
- optische maskenbasierte Lithographie (Kontakt- und Abstandslithographie)
- Image Reversal Resist
- KOH Siliziumätzen
Simulation
- Ionenimplantationssimulation
- Eindimensionale Siliziumtechnologiesimulation
Schichtabscheidung
- Magnetron-DC-RF Sputtern
- Thermisches Bedampfen, auch E-Beam
Drahtbonden
- Wedge-Wegde
- Ball-Wedge
Laborbereich
Kontakt
Prof. Dr. rer. nat.
Michael
Rüb
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+49 3641 205 351
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04.02.14
Sonstiges
Lehrgebiete: Physikintensive Technologien, Mikrostrukturierung
Sprechzeiten / Consultation hours
in der Vorlesungszeit/ at lecture period
- nach Vereinbarung per E-Mail/ on appointment by e-mail
in der vorlesungsfreien Zeit/ at non-lecture period
- nach Vereinbarung per E-Mail/ on appointment by e-mail
Prof. Dr. rer. nat. habil.
Igor
Konovalov
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+49 3641 205 351
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04.03.14
Sonstiges
Lehrgebiete: Photovoltaik, Optoelektronik
Sprechzeiten / Consultation hours
in der Vorlesungszeit/ at lecture period
- Freitag/ Friday 11:15 - 12:15 Uhr
und nach Vereinbarung per E-Mail/ and on appointment by e-mail
in der vorlesungsfreien Zeit/ at non-lecture period
- nach Vereinbarung per E-Mail/ on appointment by e-mail