Photovoltaik
Foto: Sebastian Reuter

Mikro- und Halbleitertechnologie

Angebote im Bereich der Mikro- und Halbleitertechnologie

Strukturierung

  • optische maskenbasierte Lithographie (Kontakt- und Abstandslithographie)
  • Image Reversal Resist
  • KOH Siliziumätzen

Simulation

  • Ionenimplantationssimulation
  • Eindimensionale Siliziumtechnologiesimulation

Schichtabscheidung

  • Magnetron-DC-RF Sputtern
  • Thermisches Bedampfen, auch E-Beam

Drahtbonden

  • Wedge-Wegde
  • Ball-Wedge

Laborbereich

Kontakt

Prof. Dr. rer. nat. Michael Rüb
  • 04.02.14
Michael Rüb
Foto: Steffen Walther
Sonstiges

Lehrgebiete: Physikintensive Technologien, Mikrostrukturierung

Sprechzeiten / Consultation hours

im Sommersemester/ during summer term 2024

  • nach Vereinbarung per E-Mail/ on appointment by e-mail

in der vorlesungsfreien Zeit/ at non-lecture period

  • nach Vereinbarung per E-Mail/ on appointment by e-mail
Prof. Dr. rer. nat. habil. Igor Konovalov
  • 04.03.14
Igor Konovalov
Sonstiges

Lehrgebiete: Photovoltaik, Optoelektronik

Sprechzeiten / Consultation hours

im Sommersemester/ during summer term 2024

  • Dienstag/ Tuesday 10:00 - 11:00 Uhr
    und nach Vereinbarung per E-Mail/ and on appointment by e-mail

in der vorlesungsfreien Zeit/ at non-lecture period

  • nach Vereinbarung per E-Mail/ on appointment by e-mail