Spezialausstattungen des Kompetenzkreises "Werkstoffe"


Labore:
  • Dunkelkammer
  • Klimaprüfkammer
  • Labor der Lasermaterialbearbeitung
  • Labor Rapid Prototyping
  • Reinraum
Analyse- und Messtechniken:
  • Dektak
  • Härteprüfeinrichtungen
  • Hochtemperatur-, Licht-, Stereo- und Rasterelektronenmikroskopie
  • Kalotest
  • Kontakt- und E-Beam-Lithographie
  • Messapparaturen für dielektrische Permittivität und Leitfähigkeit
  • Messapparaturen für pyroelektrischen Koeffizienten, Tiefenprofil (Laser-Scanning-Mikroskop) und Tomographie sowie den piezoelektrischen Koeffizienten (Zweistrahlinterferometer)
  • Messung der elektrischen Leitfähigkeit, des Seebeckkoeffizienten sowie der Wärmeleitfähigkeit
  • Optische Schichtdickenmessung
  • Kalotest
  • Röntgendiffraktometrie
  • Tastschnittmessgerät
  • Tribometer (momentan noch nicht verfügbar)
  • Zug-Druck-Prüfmaschine sowie Warmzug-Prüfung
Fertigungstechniken und -anlagen:
  • Anisotropes Siliziumätzen
  • Aufbau- und Verbindungstechnik (Bonden)
  • Dreh-, Fräs-, Schleif-, Senkerodier-, Läpp- und Poliermaschinen
  • Lasermaterialbearbeitung (Argon-Ionenlaser, Nd:YAG-Beschriftungs-, Rod- und Slablaser)
  • Metallographische Präparationstechnik
  • Polung ferroelektrischer Materialien
  • Präparation von Polymer und Composit-Filmen durch Spin-Coating und Heisspressen
  • Rapid Prototyping Anlage
  • Röntgendiffraktometrie
  • Sputterabscheidung
  • Thermisches Bedampfen
  • Versuchsstand für Kriechversuchef
Software:
  • Konstruktions- und/oder Berechnungssoftware:
    • Algor
    • AlphaCAM
    • LaserCAD (Beschriftungslaser)
    • Pro/ENGINEER
    • Pro Mechanica
  • Programmier- und Simulationstools für Roboter:
    • KukaSIM
    • RobCAD
  • Statistik- und Analysesoftware:
    • SPSS
  • Technologiesimulation:
    • Ionenimplantationssimulation
    • KOH-Ätzsimulation
    • Lithographiesimulation
    • Siliziumtechnologiesimulation 

Reinraum.gif
Reinraum, Foto: Klein

 

 

Beschichtungsanlage.gifBeschichtungsanlage, Foto: Klein

 

 

 

Sputteranlage Univex 300.gif
Sputteranlage

 

 

Offline_Programmierarbeitsplatz.gif
Offline-Programmierarbeitsplatz